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立式管式電爐公司采用化技術(shù)，自行研制開發(fā)的高性能高節(jié)能的新型電爐，產(chǎn)品具有的合理結(jié)構(gòu)，廣泛應(yīng)用在薄膜生長、電極測試、氧化物晶體生長、退火等新工藝領(lǐng)域。配合真空和氣路控制組成CVD控制系統(tǒng)，用于氣相沉積法制備石墨烯。

立式單溫區(qū)1400℃管式電爐，1200度立式管能夠?qū)崿F(xiàn)在真空或氣氛保護(hù)條件下對樣品快速加熱和淬火，50段可編程溫度控制器。加熱爐膛有左右兩部分組成，其中上部爐膛可整體向后翻轉(zhuǎn)，方便取放、觀察實(shí)驗(yàn)物料，爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，節(jié)能50%，溫場均勻。電熱元件采取高電阻合金絲0Cr27Al7Mo2。密封法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)，有效的提高了爐管兩端的氣密性。